橢偏儀，是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學測量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量設(shè)備。偏振光橢圓率測量儀所需的組件包括：①把非偏振光轉(zhuǎn)化為線性偏振光的光學系統(tǒng);②把線性偏振光轉(zhuǎn)化為橢圓偏振光的光學系統(tǒng);③樣品反射;④測量反射光偏振特性的光學系統(tǒng);⑤測量光強度的探測器;⑥根據(jù)假設(shè)模型計算結(jié)果的計算機。

橢偏儀的基本原理是什么?

橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征反射光的特性，可分成兩個分量：P和S偏振態(tài)，P分量是指平行于入射面的線性偏振光，S分量是指垂直于入射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數(shù)r描述了在一個界面入射光線的反射。P和S偏振態(tài)分量各自的菲涅耳反射系數(shù)r是各自的反射波振幅與入射波振幅的比值。大多情況下會有多個界面，回到最初入射媒介的光經(jīng)過了多次反射和透射?？偟姆瓷湎禂?shù)Rp和Rs，由每個界面的菲涅耳反射系數(shù)決定。Rp和Rs定義為最終的反射波振幅與入射波振幅的比值。